“self-aligned silicide”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	self-aligned silicide
释义	self-aligned silicide Encyclopedia 工学CMOS工艺释 self-aligned silicide自对准硅化物集成电路制造中，用于半导体器件中栅极与源漏区自对准形成金属化硅化物，与金属线形成低阻通道的工艺技术。
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