“radio-frequency plasma”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	radio-frequency plasma
释义	radio-frequency plasma Encyclopedia 工学﹝等离子体驱动形式﹞释 radio-frequency plasma射频等离子体使用频率范围在1～200兆赫的射频交变电源驱动，放电产生的等离子体。
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