“photo lithography”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	photo lithography
释义	photo lithography Encyclopedia 工学光刻技术释 photo lithography光刻技术集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。
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