“on-line aberration”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	on-line aberration
释义	on-line aberration Encyclopedia 工学光刻机测量系统释 on-line aberration在线波像差检测基于曝光显影后的图像形状改变、空间像的位置改变，波前相位直接探测原理而进行的波像差测量方法。该测量直接在光刻机上进行，可定义为在线波像差测量系统。
随便看	殆单群殆可和性殆可平行化流形殆可约的线性系统殆可解群殆同构的殆同构空间殆同构群殆否定公式殆周期殆周期函数殆周期动力系统殆周期微分方程殆周期性殆周期振荡殆周期流殆周期点殆周期的殆周期系统殆周期紧化殆周期解殆周期解析函数殆周期运动殆哈密顿结构殆回复点

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