“on-line aberration”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	on-line aberration
释义	on-line aberration Encyclopedia 工学光刻机测量系统释 on-line aberration在线波像差检测基于曝光显影后的图像形状改变、空间像的位置改变，波前相位直接探测原理而进行的波像差测量方法。该测量直接在光刻机上进行，可定义为在线波像差测量系统。
随便看	并联电容器组接线并联电抗器并联电路并联电阻并联端接传输线并联端接线并联系统并联谐振并联谐振电路并联运行并联逆变电路并肢并胸腹节并自同态并苯并行并行仿真并行优化并行传输并行光学接口并行公式并行分子遗传学分析并行分布式决策并行分布式存储系统并行切换

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