“NEMS传感器”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	NEMS传感器
释义	NEMS传感器 Encyclopedia 工学温度传感器释 NEMS sensorNEMS传感器特征尺寸在1～100纳米，以机电结合为主要特征，采用纳米级电子和纳米级机械加工技术制造，以纳米级结构所产生的新效应（量子效应、界面效应和纳米尺度效应）为工作特征的新型传感器。全称纳机电系统（nano-electromechanical system; NEMS）传感器。
随便看	应力图应力圆应力场应力场-渗流场耦合应力型锗掺镓红外面阵应力增长应力-应变关系应力应变关系应力-应变曲线应力应变曲线应力开裂应力弛豫模量应力张量应力强化部应力强度应力强度因子应力强度因子准则应力-强度干涉模型应力强度干涉模型应力恢复法应力松弛应力松弛试验应力波应力波发射应力测量

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