“micro/nano mechatronic”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	micro/nano mechatronic
释义	micro/nano mechatronic Encyclopedia 工学机电一体化释 micro/nano mechatronic微纳机电一体化微纳机电系统（MEMS/NEMS）将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他微加工工艺，制作到芯片上，并通过与电路相互之间的高度集成来构筑复杂的微型系统。
随便看	令狐楚以10为底的对数以2为底的对数以“行为者为基础的”德性伦理学以事实为根据，以法律为准绳以人为中心疗法以人为本以人为本信息融合以人民为中心以俗为雅以公共交通为导向的开发以农立国论以包含为偏序的以危险方法危害公共安全罪以可靠性为中心的维修以地面上的某点为中心测定的以地面上的某点为中心的以大观小以太以太曳引以太漂移以太网以太网光纤通道以太网光纤通道协议以太网列车通信网络

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