“micro/nano mechatronic”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	micro/nano mechatronic
释义	micro/nano mechatronic Encyclopedia 工学机电一体化释 micro/nano mechatronic微纳机电一体化微纳机电系统（MEMS/NEMS）将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他微加工工艺，制作到芯片上，并通过与电路相互之间的高度集成来构筑复杂的微型系统。
随便看	非渐近分布非渐近方向非渐近的非游荡点非游荡的非游荡集非湍动扩散非溶剂非滞后非滞后的非灰大气非炸药爆破非点污染源非点源污染非点状的非烈性噬菌体非烧结砖非烧蚀防热材料非热动平衡非热发射非热封型茶叶袋湿法非织造布非热射电非热射电亮度温度非热射电晕非热射电源

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