“micromechanical gyroscope”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	micromechanical gyroscope
释义	micromechanical gyroscope Encyclopedia 工学陀螺仪释 micromechanical gyroscope微机械陀螺仪采用半导体生产中成熟的沉积、蚀刻和掺杂等工艺，将机械装置和电子线路集成在微小的硅芯片上完成，最终形成一种集成电路芯片大小的微型陀螺仪。是陀螺仪技术与微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。又称MEMS陀螺仪、硅微陀螺仪。
随便看	max-min search MAX phase ceramics Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Max Planck Institute for Astronomy Max Planck Institute for Astrophysics Max-Planck-Institute for Astrophysics Max Planck Institute for extraterrestrial Physics Max Planck Institute for Radio astronomy Max Planck Institute for Solar System Research Max-Planck-Institut fur Astronomie Max-Planck-Institut fur Physik und Astrophysik Max-Planck-Institut fur Radioastronomie max plus algebra max-plus algebra Max Reinhard Max Scheler max-scheme max-separation min-distance max sequence Max Slevogt Max Steiner Max Stirner maxterm Max Theiler Max von Sydow

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