“micromechanical gyroscope”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	micromechanical gyroscope
释义	micromechanical gyroscope Encyclopedia 工学陀螺仪释 micromechanical gyroscope微机械陀螺仪采用半导体生产中成熟的沉积、蚀刻和掺杂等工艺，将机械装置和电子线路集成在微小的硅芯片上完成，最终形成一种集成电路芯片大小的微型陀螺仪。是陀螺仪技术与微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。又称MEMS陀螺仪、硅微陀螺仪。
随便看	惩罚策略惩罚系统惩罚问题惩罚项惯习惯例论惯例过程模型惯态平面惯性惯性不稳定惯性中心惯性中心轴惯性-主动/被动雷达寻的复合制导惯性-主动雷达寻的复合制导惯性主轴惯性分离器惯性制导惯性力惯性力矩惯性勘测系统惯性区域惯性半径惯性-卫星复合制导惯性-卫星导航系统惯性原理

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