“micro electron-mechanical system”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	micro electron-mechanical system
释义	micro electron-mechanical system Encyclopedia 工学微机电系统释 micro electron-mechanical system；MEMS微机电系统尺寸在微米量级到亚微米量级，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。全称微电子机械系统。
随便看	事先知情同意程序事先裁定事先规制事前控制事务事务一致性事务中间件事务内存事务分片事务处理事务处理中间件事务处理吞吐量事务处理监控器事务处理系统事务官事务时间事务时间索引事务服务事务调度事后分层事后参与限制事后回溯设计事后审查事后审查制事后性维护管理

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