“micro-electromechanical system sensor”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	micro-electromechanical system sensor
释义	micro-electromechanical system sensor Encyclopedia 工学微电子机械系统释 micro-electromechanical system sensor微电子机械系统传感器采用微纳加工工艺，基于微电子机械系统（micro-electromechanical system; MEMS）制造的新型传感器。
随便看	本影点本影闪耀本影食本征中心本征值本征值方程本征值的函数方程本征值的分布本征值的实性本征值的指标本征值的数值逼近本征值的秩本征值的重数本征值谱本征值问题本征元本征光度本征光电导本征光电导型红外探测器本征函数本征函数展开本征函数系的完全性本征函数系的完备性本征分解本征分解定理

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