“micro-electromechanical system actuator”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	micro-electromechanical system actuator
释义	micro-electromechanical system actuator Encyclopedia 工学微电子机械系统释 micro-electromechanical system actuator微电子机械系统执行器可以为微电子机械系统（micro-electromechanical system; MEMS）提供动力，也可以成为MEMS的操作和执行单元的部分。是MEMS的核心部分。
随便看	等效电流源定理等效电源定理等效电路等效电路图等效电阻等效百万吨数等效的等效相移技术等效矢量等效矩形带宽等效磁网络法等效磁路法等效空气层等效线性化法等效背景照度等效能耗优化策略等效视数等效质量等效轨道等效转动惯量等效连续A计权声级等效透镜等效采样法等效链等效问题

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