“micro-actuator”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	micro-actuator
释义	micro-actuator Encyclopedia 理学微纳米机电系统释 micro-actuator微执行器微机电系统（MEMS）、微流控系统及微机械人等微系统中的重要核心部分。
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