“lithography illumination system”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	lithography illumination system
释义	lithography illumination system Encyclopedia 工学光刻机照明系统释 lithography illumination system光刻机照明系统为投影物镜成像提供特定光线角谱和强度分布的照明光场。它是复杂的非成像光学系统，介于曝光光源和投影物镜之间。
随便看	水饱和的水驱储量动用程度水驱储量控制程度水驱气藏水驱油机理水驱特征曲线水鳖水鳖科水鸟栖息地水鹿水麦冬水麦冬科水鼩属水龙兽水龙带水龙带不稳定性水龙骨属水龙骨目水龙骨科永不休战永不再来永不消逝的电波永不瞑目永不磨灭的番号永不遗忘的美丽

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