“lithography illumination system”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	lithography illumination system
释义	lithography illumination system Encyclopedia 工学光刻机照明系统释 lithography illumination system光刻机照明系统为投影物镜成像提供特定光线角谱和强度分布的照明光场。它是复杂的非成像光学系统，介于曝光光源和投影物镜之间。
随便看	样本估计样本值样本偏差样本偏度样本偏度系数样本偏相关系数样本内预测样本函数样本分位数样本分布样本删失样本剩余离差样本区组样本区间样本十分位数样本协方差样本协方差函数样本协方差阵样本单位样本单元样本单元权数样本原始矩样本变元 [样本]变异系数样本变异系数

科学参考收录了854744条科技类词条，基本涵盖了常见科技类参考文献及英语词汇的翻译，是科学学习和研究的有利工具。