“LIGA技术”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	LIGA技术
释义	LIGA技术 Encyclopedia 工学［传感器制造］释 LIGA technologyLIGA技术一种制备传感器的工艺技术。特别适合微机电系统（MEMS）传感器功能结构器件的加工。
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