“ion beam sputtering deposition system”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	ion beam sputtering deposition system
释义	ion beam sputtering deposition system Encyclopedia 工学物理气相沉积技术释 ion beam sputtering deposition system离子束溅射镀膜装置通过离子束轰击固体靶材，使溅射的粒子沉积于基材（工件）形成固体薄膜的一种真空镀膜装置，主要由真空系统、离子源、溅射靶材、控制系统等几部分组成。
随便看	流形上的一般结构流形上的偏微分方程流形上的几何流形上的分析流形上的向量场流形上的场流形上的大地线流形上的微分方程流形上的微积分流形上的测地线流形上的测度流形上的积分流形上的结构流形上的联络流形假设流形几何流形分类流形切向量流形学习流形定向流形微分几何流形拓扑流形拓扑学流形环流形的上同调

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