“ion beam polishing”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	ion beam polishing
释义	ion beam polishing Encyclopedia 工学超精密加工释 ion beam polishing离子束抛光利用离子束轰击工件进行的抛光加工方法。又称离子束修形、离子抛光、离子铣。
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