“focused ion beam lithography”的概念、定义、翻译、参考文献-科学参考

单词	focused ion beam lithography
释义	focused ion beam lithography Encyclopedia 工学磁致动器释 focused ion beam lithography聚焦离子束光刻在聚焦离子束技术基础上将原子离化后形成离子束的能量控制在10～200千电子伏特，在工件表面采用直接扫描、掩模曝光或者投影曝光加工微细线条图案，制备微纳器件的工艺。
随便看	focal developable surface focal distance focal distance, focal length focal ellipse focal extender focal hyperbola focal image focalization focalizer focal length focal length factor of photographic lens focal length measurement of optical part and optical system focal line focal manifold focal mechanism focal mechanism solution focal mechanism solution parameters focal net focal pair focal parameter focal plane focal plane array focal-plane array focal plane array infrared seeker focal plane array tester

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